洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测  (GB/T 25915.2-2021)

本文件规定了监测计划的基本要求。这个监测计划依据所测量的空气中悬浮粒子浓度或对其有影响的其他参数,监测洁净室或洁净区按粒子浓度划分的空气洁净度方面的性能。

发布时间： 2021-08-20

实施时间： 2022-03-01

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